Μάρκα: Coxem

Μοντέλο: SPT-20

Αυτός ο αυτόματος έλεγχος κενού του προϊόντος, η ρύθμιση των συνθηκών είναι απλή, μπορεί να επιτύχει γρήγορη αντλία κενού (<2min), επεξεργασία επίστρωσης του δείγματος, μπορεί να απενεργοποιηθεί αυτόματα το κενό μετά την ολοκλήρωση της επίστρωσης. Ταυτόχρονα, η ρύθμιση του ύψους του δείγματος είναι επίσης πολύ εύκολη.

Τεχνικοί δείκτες:

Τροφή: AC 220V, 500W

Βάρος: 10kg

Μέγεθος: 420 (W) x220 (D) x230 (H) mm

4、 机械泵： 50L/min (60Hz), εναλλασσόμενο ρεύμα 220V, 150W, 14.5kg

Μέγεθος στόχου: διάμετρος 50.8mm

Κενό: περίπου 0,1 torr

Μεγάλη χαμηλή τάση: ~ 3kv

Σειρά ελέγχου ροής ιόντων: 1 ~ 9mA

Χαρακτηριστικά:

1 πλήρως αυτόματη ψηφιακή μηχανή επίστρωσης ψεκασμού ιόντων

2 Μπορεί να απομακρυνθεί από την επίστρωση ψεκασμού με ένα κλικ, μπορεί να αφαιρεθεί το κενό αυτόματα μετά την ολοκλήρωση της επίστρωσης

3 Σταθερή επίστρωση με λειτουργία ανατροφοδότησης ρεύματος επίστρωσης

4 μπορεί να χρησιμοποιηθεί για διάφορους μεταλλικούς στόχους Au, Pt, Pd, Pt-Pd

5 Χρήση περιστροφικής αντλίας χαμηλού θορύβου