Ελεγκτής πάχους μεμβράνης
Τεχνικά χαρακτηριστικά:
1. Πλήρης λειτουργία οθόνης αφής, εύκολη χρήση.
2.32Μία μεμβράνη, κάθε μεμβράνη50/100αυτόματη επίστρωση στρωμάτων·
3. 12Εισαγωγή σήματος δρόμου/12εξόδου διακόπτη οδού·
4. Πλήρως αυτόματη, ημι-αυτόματη και χειροκίνητη λειτουργία ελέγχου;
5.Ελέγχονται2μια πηγή, ένα σύνολο εργασίας και ένα άλλο σύνολο προδιαλύσεων·
Τεχνικές παραμέτρους
|
Ελεγκτής CY-FDC-S |
Συχνότητα κρυστάλλων |
6MHz (προαιρετικό κρύσταλλο 2.5M 3M 5M 9M) |
Μέθοδος εμφάνισης |
5 "έγχρωμη οθόνη αφής + ψηφιακή οθόνη σωλήνα ταχύτητα και πραγματικό πάχος |
Τρόπος λειτουργίας |
Οθόνη αφής |
Τελικό πάχος |
00μ0000Å-99μ9999Å |
Ανάλυση οθόνης πάχους |
1Å/s |
Ανάλυση οθόνης ταχύτητας |
0.1Å/s |
Αριθμός στρωμάτων επίστρωσης |
32 μεμβράνες, 50/100 στρώματα κάθε μεμβράνης. |
Αριθμός ανιχνευτών |
A B |
Παράγοντας εργαλείων |
0.01-99.99 |
Εμφάνιση χρόνου |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Εμφάνιση ισχύος |
0~99.9% |
Προλιωμένη ισχύς |
0~99% |
Προεπικάλυψη ισχύος |
0~99.9% |
Χρόνος προτήξης / χρόνος προεπίστρωσης |
0~99:99 m:s |
Χρόνος προλιωμένης μόνωσης / Προεπικάλυψη χρόνου μόνωσης |
0~99:99 m:s |
Ταχύτητα επίστρωσης (ρυθμιστεί ταχύτητα) |
0~999.9Å/s |
Αποθήκευση υλικών |
257+ προσαρμοσμένες 10 |
επικοινωνίας |
RS232/RS485 |
Ελεγχόμενη πηγή εξάτμισης |
Δύο, ένα σετ εργασίας και ένα άλλο σετ προδιάλυσης |
Έλεγχος εξόδου |
±10V/5V/2.5V |
I/διεπαφή |
12 εισόδους σήματος / 12 εξόδους διακόπτη |
Αριθμός χειριζόμενων κρυβετών |
1 έως 16 |
Επιστροφή επίδειξης |
Καμπύλη ταχύτητας/τιμή |
Αριθμός περιηγήσεων επίστρωσης |
Αυτόματο 50/100 στρώματα ανά μεμβράνη |
Μέγεθος κουτιού |
480×280×89mm (κουτί 2U 19") |
Ειδικές λειτουργίες:
1Χειροκίνητο, ημι-αυτόματο, αυτόματο3Τύπος επίστρωσης, ικανοποιώντας διάφορες διαμορφώσεις μηχανών επίστρωσης.
2Τεχνητή διακοπή επίστρωσης: Τεχνητή διακοπή επίστρωσης κατά τη διάρκεια της επίστρωσης.
3Χειροκίνητος έλεγχος: προσδιορισμός των απαιτήσεων της αρχικής διαδικασίας επίστρωσης.
4Σύστημα μεμβράνης διακοπής: η αυτόματη και ημιαυτόματη επίστρωση εντοπίζει προβλήματα ή βλάβες, μπορεί να σταματήσει την επίστρωση και να διατηρήσει αυτόματα την τρέχουσα κατάσταση, μετά την αποτυχία **, μπορεί να συνεχιστεί η επίστρωση από το σύστημα μεμβράνης διακοπής.
5Όταν η αυτόματη ή ημι-αυτόματη επίστρωση, εάν η κρυστάλλινη δόνηση αποτύχει, μπορείτε να επιλέξετε να πατήσετε την επίστρωση τερματισμού, την επίστρωση με το τρέχον χρόνο ισχύος, να συνεχίσετε το τσιπ εναλλαγής (ανιχνευτής πολλών τσιπ) ·
6Δύο πηγές ταυτόχρονα προλιώνουν: κατά την έναρξη της τρέχουσας επικάλυψης στρώματος, μπορείτε να επιλέξετε ταυτόχρονα για το2Τα στρώματα προλιώνονται για να ανταποκριθούν στις έντονες περιπτώσεις που απαιτούν χρόνο·
7Προστασία με κωδικό πρόσβασης: η προστασία με κωδικό πρόσβασης των παραμέτρων του συστήματος μεμβράνης και του στρώματος μεμβράνης προστατεύει τις παραμέτρους της διαδικασίας από την τροποποίηση από μη επεξεργαζόμενο προσωπικό.
8Καταγράφηση δεδομένων επίστρωσης: όταν η αυτόματη ή ημι-αυτόματη επίστρωση, το σύστημα μπορεί να καταγράψει τον χρόνο διαμόρφωσης μεμβράνης κάθε στρώματος, * τις παραμέτρους της ταχύτητας τελικού πάχους.