Στις 15 Απριλίου 2016, η Hitachi παρουσίασε ένα νέο ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης, το FlexSEM 1000. Η δομή του προϊόντος είναι συμπαγής και καλύπτει μικρή έκταση, αλλά η ανάλυση δεν χάνει μεγάλα ηλεκτροσκόπια, ενώ η λειτουργία είναι εξαιρετικά εύκολη και λειτουργεί σχεδόν χωρίς εκπαίδευση. Compact σχεδιασμός με ανάλυση 4 nm.
Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης επιτρέπει την παρατήρηση υψηλής μεγέθυνσης και την ανάλυση στοιχείων υψηλής ακρίβειας στην επιφάνεια των υλικών και έχει ευρεία εφαρμογή σε τομείς όπως η νανοτεχνολογία, οι επιστήμες της ζωής, ο σχεδιασμός προϊόντων και η ανάλυση αποτυχιών. Τα τελευταία χρόνια, η ανάγκη για ηλεκτροσκόπια σάρωσης για την παρατήρηση λεπτών δομών επιφανειών και την ανάλυση στοιχείων έχει αυξηθεί, ενώ όλο και περισσότεροι χρήστες θέλουν να χρησιμοποιήσουν ηλεκτροσκόπια σάρωσης σε περιορισμένους χώρους, όπως γραμμές παραγωγής, γραμμές ελέγχου ποιότητας και χώρους γραφείου. Ως εκ τούτου, το μικρό μέγεθος, το εύκολο χειρισμό και η υψηλή ανάλυση των ηλεκτρονικών μικροσκόπιων σάρωσης είναι ιδιαίτερη προσοχή. Το FlexSEM 1000 έχει πλάτος 450 mm και μήκος 640 mm, 52% μικρότερο όγκο, 45% μικρότερο βάρος και 50% μικρότερη κατανάλωση ενέργειας σε σύγκριση με το μοντέλο SU1510 και είναι εξοπλισμένο με τυποποιημένη διεπαφή τροφοδοσίας. Ο υπολογιστής και η μονάδα τροφοδοσίας μπορούν να χωριστούν και η εγκατάσταση είναι πολύ ευέλικτη.
Το FlexSEM 1000 διαθέτει ένα πρόσφατα σχεδιασμένο ηλεκτρονικό οπτικό σύστημα και ανιχνευτές υψηλής αξιοπιστίας και ευαισθησίας με ανάλυση έως και 4nm. Το FlexSEM 1000 διαθέτει πολλές δυνατότητες αυτοματοποίησης και είναι εύκολο να χειριστεί, έτσι ώστε ακόμη και ο αρχικός χειριστής να λαμβάνει γρήγορα εικόνες υψηλής ποιότητας. Επιπλέον, η νέα λειτουργία πλοήγησης «SEM MAP» επιτρέπει την πλοήγηση με μια ποικιλία οπτικών εικόνων ή ηλεκτροσκόπιων φωτογραφιών, κάνοντας γρήγορη και ακριβή αλλαγή σε ένα πεδίο υψηλής μεγέθυνσης που σας ενδιαφέρει με ένα κλικ.

Χαρακτηριστικά:

α. Μέσα από ανιχνευτές δευτερεύοντος ηλεκτρονικού υψηλής ευαισθησίας, ανιχνευτές πίσω διάσπαρσης, ανιχνευτές χαμηλού κενού (UVD)^*2επιτυγχάνει υψηλής ποιότητας παρατήρηση εικόνας σε χαμηλή τάση επιτάχυνσης / χαμηλό κενό

Εύκολη λειτουργία, ακόμη και οι αρχάριοι μπορούν να τραβήξουν υψηλής ποιότητας εικόνες

Νέα λειτουργία πλοήγησης «SEM MAP» για γρήγορη κλειδοποίηση του ορίζοντα

Μεγάλα παράθυρα (30 mm)²SDD σύστημα ενεργειακού φάσματος για γρήγορη ανάλυση συστατικών στοιχείων^*2

*1 Διαχωρίστε την υπολογιστή και το κιβώτιο τροφοδοσίας κατά τη ρύθμιση στην επιφάνεια εργασίας

*2 Επιλογή

έργο		Περιεχόμενο
Διαχωρητικότητα*3		4,0 nm @ 20 kV (SE: λειτουργία υψηλού κενού) 15,0 nm @ 1 kV (SE: λειτουργία υψηλού κενού) 5,0 nm @ 20 kV (BSE: λειτουργία χαμηλού κενού)
Τάση επιτάχυνσης		0.3 kV ～ 20 kV
Μεγέθυνση		6× - 300.000× (μεγέθυνση ταινίας) 16× ~ 800.000× (μεγέθυνση επίδειξης)
Λειτουργία χαμηλού κενού		Σειρά κενού: 6 ~ 100 Pa
Ηλεκτρονικό όπλο		Προ-ζευγάρισμα γύρω φως βολφραμίου
Δείγματα		3-άξονα αυτόματη μηχανή X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Μέγιστο μέγεθος δείγματος		Διάμετρος 80 mm
Μέγιστο ύψος δείγματος		40 mm
Μέγεθος		Φιλοξενία: 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) mm Μονάδα τροφοδοσίας: 450(W) x 640(D) x 450(H) mm
Επιλογή ανιχνευτή		Δεύτερος ηλεκτρονικός ανιχνευτής υψηλής ευαισθησίας χαμηλού κενού (UVD) Ανίχνευση ακτίνων Χ διάσπαρσης ενέργειας (EDS)