μοντέλο

K1000A

K1000B

K1000C

Προδιαγραφές ροής (μετατροπή ροής N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Μπιν 2: 30 SCCM ~100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, Air κλπ)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Τύπος βαλβίδας

N/O: Συνήθως ανοιχτό, N/C: Συνήθως κλειστό

N/C: Συνήθως κλειστό

Πεδίο ελέγχου ροής

2%～100%F.S.

Ακριβότητα

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(Περιοχή εγγυημένης ακρίβειας 15-35°C)

±1% F.S. (εύρος εγγύησης ακρίβειας 15~35℃)

±2% F.S. (εύρος εγγύησης ακρίβειας 15 ~ 35 ℃)

Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας

5～50℃

5～45℃

Χρόνος απόκρισης

≦1sec

≦3sec

Γραμμική

±0.5%F.S.

Ακριβότητα επανάληψης

±0.2%F.S.

Εύρος διαφοράς πίεσης εργασίας

N/O100~300KPa (3SLM~10SLM)

50 ~ 300KPa

N/O150~300KPa (11SLM~30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100-300KPa)

N/C100~300KPa (3SLM~30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100 ~ 300KPa

150 ~ 300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Συντελεστής θερμοκρασίας

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Μέγιστη πίεση εργασίας

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Αντοχή στην πίεση

1MPa

Ποσοστό διαρροής

Μεταλλική σφραγίδα: 1 × 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Καουτσούκ σφραγίδα: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Καουτσούκ σφραγίδα: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Υλικό σφράγισης

μεταλλική σφραγίδα; Φλωροκαουτσούκ· νεοπρενίου

Φλωροκαουτσούκ· νεοπρενίου

Μορφή επικοινωνίας

Αναλογική: 0~5V DC Ψηφιακή: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Αναλογικό: 0 ~ 5V DC Ψηφιακό: RS485, DeviceNet,

Η τροφοδοσία

Αναλογικό / ψηφιακό: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Τυποποιημένη μορφή σύνδεσης

VCR 1/4 ηλιακή σύνδεση, διπλή κάρτα 1/4 ηλιακή σύνδεση, 1.5 '' W-Seal, 1.125 '' W-Seal, 1.125 '' C-Seal

VCR 3/8 ηλιακή σύνδεση, διπλή κάρτα 3/8 ηλιακή σύνδεση

VCR 1/2 ηλιακή σύνδεση, διπλή κάρτα σύνδεση 1/2 ηλιακή σύνδεση

Βάρος

1.0kg

3.0kg

3.7kg