ΗΠΑ KRI Hall Ion Source eH 400 Χαρακτηριστικά προϊόντος:

ΜπέρτονKRIΠηγή ιόντων HalleH 400Χαρακτηριστικά:

1.Αφαιρούμενα συστατικά ανόδου-Εύκολη συντήρηση;Κατά τη συντήρηση,Ελαχιστοποίηση του χρόνου διακοπής;Εναλλακτικό ανόδο

2.Υψηλό ρεύμα απαλλαγής ευρείας δέσμης-Ομοίως ταχύτητα χάραξης;Υψηλή απόδοση διάβρωσης;Υψηλοιονική βοηθητική επίστρωσηIADΑποτελεσματικότητα

3.Πολυσκοπική-Εφαρμόζεται γιαLoad lock /Σύστημα υπερυψηλού κενού

4.Αποτελεσματική μετατροπή πλάσματος και σταθερός έλεγχος ισχύος