Το μικρομέτρο ροής μάζας αερίου XR-F001 έχει σχεδιαστεί ειδικά για τη μέτρηση και τον έλεγχο διαδικασιών σε διάφορους τύπους αερίων μικρής ροής. Αυτή η σειρά αισθητήρων κατασκευάζεται με προηγμένα τσιπ αισθητήρων ροής μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS) και είναι κατάλληλα για διάφορους τύπους καθαρών αερίων. Η μοναδική τεχνολογία συσκευασίας το καθιστά διαθέσιμο για όλους τους τύπους διαμέτρων σωλήνων, χαμηλό κόστος, εύκολη εγκατάσταση, χωρίς αντιστάθμιση πίεσης θερμοκρασίας και μπορεί να αντικαταστήσει τον παραδοσιακό μετρητή ροής με όγκο ή διαφορά πίεσης.