OTL-PECVD-1200-1400-1200 σύστημα PECVD τριών θερμοκρασίας ζώνης, που αποτελείται από τρεις κλίβανους με κενό σωλήνα, κενό θάλαμο χαρτζιού, τροφοδοσία ραδιοσυχνότητας, σύστημα παροχής αερίου GX, σύστημα αντλήσεων αερίου, σύστημα μέτρησης κενού, ηλεκτρικό μηχανισμό σύρεσης.

Κύρια χαρακτηριστικά:

Μετατρέψτε το αέριο μέσα σε κενό δωμάτιο χαρτζιού σε κατάσταση ιόντων μέσω της τροφοδοσίας ραδιοσυχνότητας.

Το PECVD είναι χαμηλότερο από το συνηθισμένο CVD για την κατάθεση χημικών αερίων

3, μπορεί να ελέγξει το μέγεθος της πίεσης της ταινίας που αποθέτει μέσω της συχνότητας της τροφοδοσίας ραδιοσυχνοτήτων

Το PECVD έχει υψηλό ρυθμό κατάθεσης χημικής φάσης από το συνηθισμένο CVD, καλή ομοιομορφία, υψηλή συνέπεια και σταθερότητα.

Χρησιμοποιείται ευρέως για: την ανάπτυξη διάφορων λεπτών ταινιών, όπως: SiOx, SiNx, SiOxNy και αμορφοποιημένο πυρίτιο (a-Si: H) κλπ.

Αυτό το σύστημα PECVD τριών θερμοκρασιών είναι ένα σύστημα PECVD που μπορεί να θερμανθεί και να ψύχει γρήγορα, είναι ένα ζευγάρι ηλεκτρικών ολισθητών σε τρεις φούρνους σωλήνων, διαθέσιμο ηλεκτρικό σύστημα ολισθητών. Μέγιστη ταχύτητα θέρμανσης και ψύξης 100°C/min. Για να επιτευχθεί η ταχύτερη θέρμανση, μπορείτε να προθερμάνετε τον φούρνο στη θερμοκρασία που ορίζεται και στη συνέχεια να μετακινήσετε τον φούρνο στο δείγμαΒάλτε. Για την ταχύτερη ψύξη, το φούρνο μπορεί να μετακινηθεί στο άλλο άκρο μετά τη θέρμανση του δείγματος. Οι ταχύτητες θέρμανσης και ψύξης μπορούν να επιτευχθούν σε περιβάλλον κενού ή αδράνειας αερίων.10 ° C / s, είναι ένα σύστημα PECVD διπλής θερμοκρασίας ζώνης χαμηλού κόστους για γρήγορη θέρμανση και ψύξη.

Αυτό το σύστημα PECVD τρίας θερμοκρασίας ζώνης χρησιμοποιεί το σύρμα αντίστασης Kanthal της Σουηδίας και τη ράβδο άνθρακα πυριτίου ως θερμαντικό στοιχείο, χρησιμοποιεί τη δομή διπλού περιβλήματος και 30 μετρητές θερμοκρασίας προγράμματος, ενεργοποίηση μετατόπισης φάσης, έλεγχος πυριτίου, ο φούρνος χρησιμοποιεί εισαγόμενα πολυκρισταλλικά υλικά ινών οξειδίου αλουμινίου από την Ιαπωνία, και τα δύο άκρα του φούρνου είναι σφραγισμένα μεΚαι μετρητής πίεσης, το κενό μπορεί να φτάσει 10-3 Pa όταν αντλεί, χωρίζεται σε δύο ζώνες θερμοκρασίας, δύο ζώνες θερμοκρασίας μπορούν να ελέγχονται ανεξάρτητα, να ρυθμίσουν διαφορετικές θερμοκρασίες, εύκολη χρήση, απλή λειτουργία, ο φούρνος έχει ισορροπία θερμοκρασίας πεδίου, χαμηλή θερμοκρασία επιφάνειας, ταχύτητα ψύξης θερμοκρασίας γρήγορη, εξοικονόμηση ενέργειας και άλλα πλεονεκτήματα, είναι πανεπιστήμια, ερευν Το ιδανικό προϊόν για τον κόμβο, την ανάπτυξη του γραφένιου και την ανάπτυξη διάφορων λεπτών ταινιών.

(1), το πάχος του καυτού άκρου του ράβδου άνθρακα πυριτίου είναι 14mm, ο γενικός κατασκευαστής υιοθετεί 12mm, το πάχος του άκρου θέρμανσης, δεν είναι εύκολο να καμπιστεί, το επιφανειακό φορτίο της ράβδου είναι χαμηλό και έχει μεγάλη διάρκεια ζωής.

（2), το μήκος του κρύου άκρου είναι 210 mm, ο γενικός κατασκευαστής χρησιμοποιεί 180 mm, η θερμοκρασία της κορυφής του κρύου άκρου είναι χαμηλή.

(3) η πυκνή μη κρυστάλλινη μεμβράνη οξείδωσης της επιφάνειας της ράβδου άνθρακα πυριτίου, μπορεί να προστατεύσει καλύτερα τη ράβδο άνθρακα.

Όταν το κύκλωμα είναι υπερβολικό ή διαρροή, το κενό ανοίγμα αποσυνδέεται αυτόματα

Ο ατμοσφαιρικός φούρνος σωλήνωνΑλλά...Εξοπλισμένος με διεπαφή επικοινωνίας και λογισμικό, μπορεί να ελέγξει απευθείας τις διάφορες παραμέτρους του φούρνου μέσω υπολογιστή και μπορεί να παρατηρήσει από τον υπολογιστή τις τιμές θερμοκρασίας PV και SV και τη λειτουργία του μετρητή στον φούρνο, ο υπολογιστής της πραγματικής καμπύλης θέρμανσης του φούρνου θα σχεδιάσει σε πραγματικό χρόνο και μπορεί να αποθηκεύσει τα δεδομένα θερμοκρασίας κάθε στιγμής, μπορεί να κληθεί ανά πάσα στιγμή

(1), υψηλής ποιότητας υψηλής καθαρότητας πολυκρισταλλικών ινών οξειδίου αλουμινίου σκληρότητας φούρνο σχηματοποίησης κενού.
2) Η υιοθέτηση ιαπωνικής τεχνολογίας.
(3), χαμηλή θερμική χωρητικότητα υλικού φούρνου, χαμηλός συντελεστής θερμικής αγωγής, έτσι ώστε η θερμότητα να είναι λιγότερη, καλή μόνωση και υψηλή αντανακλαστικότητα. Ισορροπία θερμοκρασίας.
(4), ο φούρνος είναι λεπτός και μακρύς, ανθεκτικός σε υψηλές θερμοκρασίες, ανθεκτικός στην αύξηση της θερμότητας και ισχυρή ικανότητα ψύξης
(5) Η επιφάνεια του φούρνου είναι καθαρή και δεν είναι εύκολο να απορρίψει τη σκόνη.

(Όλα τα εισαγόμενα ηλεκτρικά προϊόντα πιστοποιημένα UL)