Το σύστημα OTL-PECVD-1200PECVD αποτελείται από κενό φούρνο σωλήνων OTL1200, κενό θάλαμο χαρτζιού, τροφοδοσία ραδιοσυχνότητας, σύστημα παροχής αερίου GX, σύστημα αντλήσεων αερίου, σύστημα μέτρησης κενού.

Κύρια χαρακτηριστικά:

Μετατρέψτε το αέριο μέσα σε κενό δωμάτιο χαρτζιού σε κατάσταση ιόντων μέσω της τροφοδοσίας ραδιοσυχνότητας.

Το PECVD είναι χαμηλότερο από το συνηθισμένο CVD για την κατάθεση χημικών αερίων.

3, μπορεί να ελέγξει το μέγεθος της έντασης της ταινίας που αποθέτει μέσω της συχνότητας της τροφοδοσίας ραδιοσυχνότητας.

Το PECVD έχει υψηλό ρυθμό κατάθεσης χημικής φάσης από το συνηθισμένο CVD, καλή ομοιομορφία, υψηλή συνέπεια και σταθερότητα.

Χρησιμοποιείται ευρέως για: την ανάπτυξη διάφορων λεπτών ταινιών, όπως: SiOx, SiNx, SiOxNy και αμορφοποιημένο πυρίτιο (a-Si: H) κλπ.

Το σύστημα OTL-PECVD-1200 PECVD χρησιμοποιεί το σύρμα αντίστασης Kanthal της Σουηδίας ως θερμαντικό στοιχείο, χρησιμοποιεί τη δομή του περιβλήματος διπλού στρώματος και το μετρητή θερμοκρασίας 30 τμημάτων, την ενεργοποίηση μετατόπισης φάσης, τον έλεγχο του πυριτίου, το φούρνο χρησιμοποιεί πολυκρισταλλινές ίνες οξειδίου αλουμινίου, τα δύο άκρα του σωλήνα φούρνου μπορούν να σφραγίσουν με ανοξείδωτο χάλυβα, το φούρνο είναι εγκατεστημένο με φυσικό στόμα αέρα, βαλβίδες και μετρητές πίεσης, το κενό μπορεί να φτάσει σε 10-3 Pa κατά την αντλία κενού, με ισορροπί

(3) ισορροπία αντίστασης, καλή ισορροπία θερμοκρασίας

(4), εξαρτήματα θέρμανσης: Σουηδική Kanthal A1 εισαγωγή καλώδιο αντίστασης (καλώδιο αντίστασης μπορεί να δεσμευτεί εγγύηση 2 ετών)

Όταν το κύκλωμα είναι υπερβολικό ή διαρροή, το κενό ανοίγμα αποσυνδέεται αυτόματα

Ο φούρνος είναι εξοπλισμένος με διεπαφή επικοινωνίας και λογισμικό, μπορεί να ελέγξει απευθείας τις διάφορες παραμέτρους του φούρνου μέσω υπολογιστή και μπορεί να παρατηρήσει από τον υπολογιστή τις τιμές θερμοκρασίας PV και SV και τη λειτουργία του μετρητή στον φούρνο, ο υπολογιστής της πραγματικής καμπύλης θέρμανσης του φούρνου θα σχεδιάσει σε πραγματικό χρόνο και μπορεί να αποθηκεύσει τα δεδομένα θερμοκρασίας κάθε στιγμής, ανά πάσα στιγμή μπορεί να ρυθμίσει το κε

2) Η υιοθέτηση ιαπωνικής τεχνολογίας.

(3), το διάστημα και η απόσταση των καλωδίων αντίστασης στο φούρνο είναι όλα τοποθετημένα σύμφωνα με την καλύτερη τεχνολογία θερμοτεχνολογίας της Ιαπωνίας και προσομοιούνται θερμικά πεδία μέσω λογισμικού θερμοτεχνολογίας

(4), θέρμανση 4 εβδομάδων, πιο ισορροπημένη θερμοκρασία

(Όλα τα εισαγόμενα ηλεκτρικά προϊόντα πιστοποιημένα UL)