Ατομικό μικροσκόπιο της Park Systems XE-15

Εισαγωγή του οργάνου:

Το Park XE-15 διαθέτει πλήρη συμβατότητα με δείγματα. Η ποικιλία των δειγματοδοκιμών είναι σχεδιασμένη για να παρέχει ένα εύκολο και αξιόπιστο περιβάλλον δοκιμής για διάφορα μεγέθη, σχήματα και ποσότητες δειγμάτων. Ο αποσυνδεδεμένος σαρωτής κλειστού κύκλου XY εξαλείφει το σφάλμα του εφέ κάμψης και παρέχει γραμμικότητα. Η πραγματική λειτουργία σάρωσης χωρίς επαφή διευρύνει την κατάλληλη ποικιλία δειγμάτων, παράλληλα παρατείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του ανιχνευτή και μειώνοντας το κόστος χρήσης.

Τεχνικές παραμέτρους του μικροσκόπιου Ατομικής Δύναμης Park Systems XE-15:

Σαρωτής

Σαρωτής XY

Ευέλικτος καθοδηγούμενος σαρωτής μονής μονάδας ελέγχου κλειστού κύκλου

Σειρά σάρωσης 100μm*100μm (προαιρετικό 50μm*50μm)

Αποστολή επιφάνειας: <2nm (40μm*40μm σάρωση)

Ζ σαρωτής

Ευέλικτος καθοδηγούμενος ισχυρός σαρωτής

Σειρά σάρωσης 12μm (προαιρετικό 25μm)

Συχνότητα συντονισμού: >5kHz

Θόρυβος απεικόνισης επιφάνειας: 0.03nm

Δείγματα

Τύπος επιτραπέζιου δείγματος: επιτραπέζιο δείγματος 16 σημείων / επιτραπέζιο απορρόφησης κενού διάμετρου 150mm (προαιρετικό επιτραπέζιο απορρόφησης κενού διάμετρου 200mm)

Μέγεθος δείγματος: 150mm*150mm*20mm

Βάρος δείγματος: zui μεγάλο 500g

Μετακίνηση πεδίου δείγματος: 150mm * 150mm (προαιρετικό 200mm * 200mm)

Κύρια χαρακτηριστικά:

Καινοτόμος σχεδιασμός δείγματος πολλαπλών σημείων για την παραγωγικότητα εργασίας

• Μπορείτε να σαρώσετε πάνω από 16 δείγματα σε μία λειτουργία

• Εύκολη τοποθέτηση του δείγματος και γρήγορη σάρωση

• Μεγάλη βελτίωση της ακρίβειας και της επαναληψιμότητας των δεδομένων

Υποστήριξη υπερμεγάλων δειγμάτων για την κάλυψη των αναγκών ανάπτυξης της βιομηχανίας

● Zui μεγάλη υποστήριξη 200 mm wafer για να ικανοποιήσει τις τρέχουσες και μελλοντικές ανάγκες των χρηστών

Ειδικός σχεδιασμός για να ανταποκριθεί στις πραγματικές ανάγκες των χρηστών που σχετίζονται με τους ημιαγωγούς

Πλούσια επιλογή λειτουργικών λειτουργιών

Υποστήριξη διάφορων λειτουργιών SPM

• Υποστήριξη πολλών επιλογών μετρήσεων

● Υποστήριξη ποικίλων προαιρετικών εξαρτημάτων για εξαιρετικές επιδόσεις επέκτασης