Μοντέλο: K-Alpha
κατασκευαστής: THERMO
Εξάρτημα: Πυροβόλι ιόντων αργόνιου
Μέγεθος: 30-400 μm
Λειτουργία ανάλυσης: προαιρετική ανάλυση φάσματος περιοχής, ανάλυση βάθους

Παράδειγμα: Γυάλινη επιφάνεια επικάλυψη διοξειδίου τιτανίου O στοιχείο διαφορετική αναλογία τιμής ιόντων